Tento prístroj využíva bezkontaktnú interferometrickú metódu merania s optickým fázovým posunom, nepoškodzuje povrch obrobku počas merania, dokáže rýchlo merať trojrozmernú grafiku povrchovej mikrotopografie rôznych obrobkov a analyzovať a vypočítať meranie. výsledky.
Popis produktu
Vlastnosti: Vhodné na meranie drsnosti povrchu rôznych meracích blokov a optických častí; hĺbka nitkového kríža pravítka a číselníka; hrúbka povlaku štruktúry drážky mriežky a morfológia štruktúry hranice povlaku; povrch magnetického (optického) disku a magnetickej hlavy Meranie štruktúry; meranie drsnosti povrchu kremíkovej dosky a štruktúry vzoru atď.
Vzhľadom na vysokú presnosť merania prístroja má vlastnosti bezkontaktného a trojrozmerného merania a využíva počítačové riadenie a rýchlu analýzu a výpočet výsledkov merania. Tento prístroj je vhodný pre všetky úrovne testovacích a meracích výskumných jednotiek, meracie miestnosti priemyselných a banských podnikov, dielne presného spracovania a je vhodný aj pre inštitúcie vyššieho vzdelávania a vedecké výskumné inštitúcie atď.
Hlavné technické parametre
Rozsah merania hĺbky mikroskopických nerovností povrchu
Na súvislom povrchu, keď nedochádza k žiadnej náhlej zmene výšky väčšej ako 1/4 vlnovej dĺžky medzi dvoma susednými pixelmi: 1000-1nm
Keď je medzi dvoma susednými pixelmi výšková mutácia väčšia ako 1/4 vlnovej dĺžky: 130-1nm
Opakovateľnosť merania: δRa ≤0,5nm
Zväčšenie objektívu: 40X
Číselná clona: Φ 65
Pracovná vzdialenosť: 0,5 mm
Zorné pole prístroja Vizuálne: Φ0,25 mm
Fotografia: 0,13 × 0,13 mm
Zväčšenie prístroja Vizuálne: 500×
Fotografia (pozorovaná na obrazovke počítača)-2500×
Meracie pole prijímača: 1000X1000
Veľkosť pixelov: 5,2 × 5,2 µm
Čas merania čas vzorkovania (skenovania): 1S
Štandardná zrkadlová odrazivosť prístroja (vysoká): ~50 %
Odrazivosť (nízka): ~4%
Svetelný zdroj: žiarovka 6V 5W
Vlnová dĺžka zeleného interferenčného filtra: λ≒530nm
Polovičná šírka λ≒10nm
Zdvih hlavného mikroskopu: 110 mm
Zdvih stola: 5 mm
Rozsah pohybu v smere X a Y: ~10 mm
Rozsah otáčania pracovného stola: 360°
Rozsah naklonenia pracovného stola: ±6°
Počítačový systém: P4, 2,8G alebo viac, 17-palcový plochý displej s pamäťou 1G alebo viac